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显微热成像系统可以在不接触被测物体的情况下,对微小样品的形状和温度进行观测,因此在生物医学、科研实验等领域有着广阔的应用前景。前期本课题组研制了光学微扫描显微热成像系统,但系统的微扫描误差较大,对机械、光学加工精度要求严格,不利系统的产品化和实用化。为此,本文重新设计加工了一种新型高精度微扫描器,并与原有显微热成像系统进行一体化设计得到了高精度微扫描显微热成像系统。为进一步减小系统的微扫描误差,提高系统的空间分辨力,本文研究提出了两种减小微扫描误差的算法。首先,基于微扫描和机械设计原理,设计了一种新