大气压氦气多脉冲介质阻挡放电模式与演化过程研究

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介质阻挡放电(DBD:Dielectric Barrier Discharge)能够在大气压下产生均匀的低温等离子体。与产生低温等离子体的传统方法相比,大气压介质阻挡放电具有设备费用低、可连续生产、生产效率高和无污染等优势,以及广阔的工业应用前景。为了研究大气压均匀介质阻挡放电的过程与机理,本文进行了大气压氦气多脉冲介质阻挡放电实验,通过短时曝光ICCD相机拍摄了放电的发光图像,研究了大气压多脉冲氦气介质阻挡放电模式与演化过程。 (1)设计并制造了实验研究所需的电极与放电室,建立了大气压介质阻挡放电实验系统。 (2)利用12kHZ等离子体电源,进行了大气压多脉冲氦气介质阻挡放电实验。测量了大气压多脉冲氦气介质阻挡放电的外加电压与回路电流,计算分析了气隙的伏安特性,探讨了气隙伏安特性曲线诊断放电模式的可行性。通过ICCD相机拍摄了放电间隙的侧面与电极表面的短时曝光图像,研究了放电的模式以及放电在电极表面径向的演化过程,并讨论了多脉冲辉光放电的均匀性以及均匀放电的形成过程。
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