【摘 要】
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光学系统作为光学仪器的核心,其性能好坏很大程度上取决于光学元件的质量。球面光学镜片作为最常用的光学元件,对其进行面形检测是光学镜片生产过程中最重要的环节之一。常用于镜片面形检测的方法有：样板法和干涉仪法。样板法属于接触性检验,容易对面形造成二次损伤；干涉仪法属于非接触法,但干涉仪造价昂贵,而且通常只能对单个镜片进行检验。这两种方法都各有缺点,影响光学镜片生产率的提高。本文通过对样板法和干涉仪法的比
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光学系统作为光学仪器的核心,其性能好坏很大程度上取决于光学元件的质量。球面光学镜片作为最常用的光学元件,对其进行面形检测是光学镜片生产过程中最重要的环节之一。常用于镜片面形检测的方法有：样板法和干涉仪法。样板法属于接触性检验,容易对面形造成二次损伤；干涉仪法属于非接触法,但干涉仪造价昂贵,而且通常只能对单个镜片进行检验。这两种方法都各有缺点,影响光学镜片生产率的提高。本文通过对样板法和干涉仪法的比较,结合光学镜片生产的特点,基于泰曼-格林干涉设计了一种用于光学镜片面形的非接触在线检测的干涉仪
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水表是用水计量的工具，是水资源管理部门征收水费和调度管理的参考依据。随着水资源短缺问题日益严重，水表精确计量显得更为重要。水表检定一般是从管线卸下送到计量部门水表检定装置上进行离线检定或校准，然而企业内部的大多数用于贸易结算的水表难于拆卸或不允许断流，而且工业现场中水表计量精度除受本身特性影响外，还受现场使用条件的影响。因此对水表进行在线校准能反映水表日常使用情况下的误差水平，对于判断水表计量性能
pVTt法气体流量标准装置是间接测量质量流量的一种原级气体流量标准装置，其主要用途是对临界流喷嘴进行量值传递。目前国内建立的pVTt法装置数量很少，且检定效率普遍偏低。本文设计完成一套常压进气式pVTt法气体流量标准装置，流量范围为0.016-1024m~3/h，装置可高效完成音速喷嘴以及标准表的检定。首先，根据pVTt原理以及技术要求进行装置整体方案设计。多个标准容器并联扩展了装置流量范围；配备
随着微纳米结构尺寸的覆盖性不断扩大，复杂性不断增强，提出的测量要求已不是目前的微纳米测量技术所能够满足的，因此，研究和开发新型测量装置和测量方法是解决现今微纳米尺寸测量领域的测试需求的重要手段。为此，本文基于课题组所在实验室具备的纳米坐标测量系统，自行研发了一种微触觉测头及其相应的测试、校准系统。本文的主要研究工作如下：1)通过电容传感器的性能仿真及测量原理的分析，确定MEMS电容传感器的结构，然
无论水表还是涡轮流量计都是传统的流量测量仪表，它们使用面较广、使用量较大，是关系现代生产、民生和国家发展的重要计量器具。在水和天然气资源日益短缺的形势下，对水和天然气进行计量的流量测量仪表需要具有低损耗、高精度的特性。对于水表或涡轮流量计，提升其品质是非常重要的。本文以WS-80垂直螺翼式水表，CNiM-TM-100-G400和CNiM-TM-80-G160气体涡轮流量传感器为研究对象，采用CFD
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