作为微机械系统的分支,压电驱动式微型泵受到各国研究人员的关注。对其所开展的研究不仅具有重要的学术价值,而且在生物、制药、化学分析、电子器件冷却等领域都具有广阔的应用前景。压电泵是以压电元件作为换能器的新型流体传输装置。本文从理论上分析了振子支撑状态、阀孔与阀心的距离、进出口阀在泵腔中的位置对压电泵性能的影响,并进行了相应的实验测试,从而为提高单腔或多腔压电泵的输出性能提供理论和实验依据。压电驱动器是目前国际上的研究热点,有关压电驱动技术的研究工作在各方面引起关注。但是目前的研究重点主要集中在新型压电驱动结构和工作原理深入探究工作上,关于测试压电机构性能的方法研究工作还有待于进一步开展。从印证所研究的压电驱动器的各项技术指标是否能更好地符合实际需要,提高压电驱动器的测试技术也能为提高压电驱动技术的研究水平奠定基础。结合粘性流体动力学、压电学、振动学以及压电泵结构设计理论,通过理论解析和实际试验相结合的方法,分析了结构参数对压电泵性能的影响。通过分析泵体内压力、流速分布,得出结构参数对流体损失的影响规律,并提出了压电泵测试技术和实验方法。通过大量的实验,详细研究了压电泵的几种主要结构参数对其性能的影响,对获得的实验数据进行了分析和讨论,在此基础上对现有压电泵进行了改进,制作了压电泵样机,进行了相关的实验测试、分析,获得了一批有实际借鉴意义的数据。本文的工作对今后压电泵的研究和设计具有一定的参考价值。