【摘 要】
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热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积是我们建立的快速沉积高品质金刚石膜的新方法.该文从阴极、辉光放电等离子体等角度研究热阴极辉光放电的工作特性,并系统研究放电工作特
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热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积是我们建立的快速沉积高品质金刚石膜的新方法.该文从阴极、辉光放电等离子体等角度研究热阴极辉光放电的工作特性,并系统研究放电工作特性与金刚石膜沉积工艺的关系,进而指导制备工艺的优化.阴极的材料、工作温度、表面状态、与阳极间的尺寸位置配置关系等,均对大电流、高气压的热阴极辉光放电稳定工作产生重要影响.热阴极辉光放电的阴极位降区、正光柱等离子体区、阳极位降区等放电区域,均具有不同于常规冷阴极辉光放电的特有放电性质,并且这些放电特性对金刚石膜的沉积速率和膜品质等产生直接影响.
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