润湿性是大自然中存在的固有特性,对人们的生活和生产具有重要影响。超疏水材料因为其自清洁性能、防腐蚀性能越来越得到人们的广泛关注。目前,制备超疏水铜表面的方法有很多种,但利用磁控溅射法来制备超疏水铜表面的研究几乎未见报道。利用磁控溅射法在玻璃基底上制备Cu薄膜,研究溅射时间、溅射功率和溅射压强对Cu薄膜润湿性能、结构和形貌的影响。结果表明,溅射工艺参数的变化对Cu薄膜的结构、形貌、润湿性能和粗糙度产生显著影响。同时,采用磁控溅射法在陶瓷、玻璃和石英基底上制备Cu薄膜,结果发现不同材质和粗糙度的基底上制备的Cu薄膜其润湿性能不同。在铜片上自组装正十二硫醇单分子膜(SAMs),研究SAMs对铜片的润湿性能影响,结果表明正十二硫醇在铜片表面自组装后铜片表面接触角从77°变为117°。此外,对铜片预处理后再自组装正十二硫醇单分子膜,SAMs/铜片疏水性能更好。以磁控溅射法制备的Cu薄膜为基板,自组装正十二硫醇单分子膜,研究溅射工艺和基底材质对SAMs/Cu薄膜表面的润湿性能影响。结果表明,溅射工艺的变化对SAMs/Cu膜/玻璃基底表面的接触角影响不大,都在108-120°之间。而SAMs/Cu膜/石英基底表面和SAMs/Cu膜/陶瓷基底表面接触角分别为114.5°和129.79°,说明基底的材质影响SAMs/Cu膜的润湿性能。通过改变溅射工艺,在草酸溶液预处理过的铜片表面沉积Cu薄膜,后经正十二硫醇修饰成功制得接触角约为151°,滚动角为4°超疏水铜表面,且所制得超疏水铜表面在空气和水中有良好的抗腐蚀性能。