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本研究的主要目的是通过紫外灯照射和制备环境温度来提高溶胶凝胶法制备的ITO薄膜的导电性能,为最终获得性能优良的ITO薄膜提供理论和实际依据。首先,通过对五组不同制备环境温度下制得的ITO薄膜光电性能的比较获得:低制备环境温度有利于凝胶的形成,提高其导电性和透光性。其次,用不同功率和波长紫外灯照射ITO薄膜,发现其能有效提高ITO薄膜的导电性,使铟外层电子产生跃迁,增加其迁移率,减小其方阻。方阻相对减小值会随着紫外灯功率的增大而增大,波长的减小而增大。将照射处理后的ITO薄膜放