【摘 要】
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该文用电化学阴极沉积的方法制备具有不同粒径的ZnO纳米粒子薄膜.首次引入含ZnCl的二甲基亚砜溶液做电解液在Si衬底上获得了不含-OH的ZnO纳米薄膜.采用硅片作衬底沉积ZnO薄膜
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该文用电化学阴极沉积的方法制备具有不同粒径的ZnO纳米粒子薄膜.首次引入含ZnCl<,2>的二甲基亚砜溶液做电解液在Si衬底上获得了不含-OH的ZnO纳米薄膜.采用硅片作衬底沉积ZnO薄膜,这样易于加工成器件,有利于光电集成.实验用含有0.01-10.05M的ZnCl<,2>二甲基亚砜溶液做电解液,以硅为衬底在室温下生长薄膜.制备的薄膜用X射线衍射谱、描描电子显微镜、红外吸收谱、透射谱以及光致发光谱等方法表征,研究电解液浓度对薄膜结构和光学性质的影响.
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