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微透镜阵列是重要的集成化微光学元件,采用微注塑成型技术或纳米压印技术实现批量化生产。电铸是微注塑模芯或纳米压印模芯的核心制造技术之一,决定了聚合物微透镜阵列的成型质量。然而,微透镜阵列模芯存在电铸厚度分布不均问题。本文开展电场分布与流场分布对电铸模芯厚度均匀性的影响研究,通过仿真和实验分析,改善厚度不均缺陷。采用电流密度分布数值模型,分析屏蔽挡板、辅助阴极的结构参数对阴极表面电流密度分布的改善作用；基于电沉积理论和法拉第定律推导了电流密度分布与铸层厚度分布的关系。设计一组对照电铸实验,采用电