一维MEMS矢量水听器的结构设计与工艺制备

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【摘要】

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【作者】

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丁俊文

【出处】

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中北大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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矢量水听器 ANSYS 微机电系统

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回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield Buddy revenge - back to Japan E back. “Back once again.” Back to the dried meat in the magic N_. NH lP7-ewwe - “a” $ MN.W; - __._ - ------ "anvil called] feather production: Chen Tian

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