【摘 要】
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液晶面板及半导体制造业的技术水平在某种程度上反映出一个国家的科技实力。液晶面板制造过程对技术要求高、工序繁多,其中某些重要工序过程会产生大量的稀释剂废液。该部分
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液晶面板及半导体制造业的技术水平在某种程度上反映出一个国家的科技实力。液晶面板制造过程对技术要求高、工序繁多,其中某些重要工序过程会产生大量的稀释剂废液。该部分废液处理不当会给人类赖以生存的环境带来巨大的影响,威胁到人们的健康。若通过新工艺技术的研发使这部分废液再生实现其资源化利用,不仅符合节约型社会的产业政策,且对减少危险废物排放、加强保护环境、降低企业生产成本以及提高其竞争力具有重要的意义。为了实现液晶废稀释剂的达到电子级产品回用,本文的主要研究内容如下:一是对液晶面板生产过程中产生废稀释剂处理方法进行研究。通过其组份分析和结果对比设定目标,再通过程模拟与实验验证确认目标的可行性。二是考虑各个不同的工艺方案,选取最佳的工艺方法达到处理效果。除考虑化学品的温度、压力等物理参数以外,还应考虑适用性等因素。对选择的工艺方案进行验证,并在此基础上考虑设备方案。三是对废稀释剂回收为电子级产品的工艺方法进行工程化研究,主要包括设备的选型、流程的设计、公用工程及辅助设施的影响、消防及安全环保、投资估算及经济分析等方面。通过本文的研究,使废稀释剂回收为电子级产品的技术得到了工程化应用,为工厂建设提供工艺包设计深度的依据。提高了废稀释剂再生产品的附加值。打破了危险废物回收产品用途的限制,实现了危险废物原用途回用,产生了一定的经济效益及社会效益。
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