表面等离激元共振(Surface plasmon resonance,简称SPR)传感器的应用领域变得越来越广泛,当待测介质的折射率发生细微变化的时候,传感器可以感应到这一变化,从而达到传感的目的。在论文的理论部分介绍了衰减全反射和倏逝波理论,以及重点介绍了激发SPR效应的条件,介绍了常见的几个SPR激发结构。设计了几个SPR传感器模型,改变SPR传感器模型的参数,利用FDTD Solution仿真软件进行仿真,计算传感器的灵敏度和品质因子,然后进行分析和比较。研究了矩形光栅-玻璃复合结构SPR传感器,在厚度为50nm的银膜上刻蚀20nm深的矩形光栅,改变矩形光栅的周期,和单金属SPR传感器的灵敏度和品质因子进行比较,在这个基础上,改变凹槽的深度为30nm,和凹槽深度为20nm的SPR传感器的灵敏度和品质因子进行比较。在凹槽深度为20nm以及矩形光栅周期为48nm的基础上,改变矩形光栅的高度,分析和比较不同光栅高度结构SPR传感器对应的灵敏度和品质因子。当改变Ag膜的厚度,通过反射率曲线来分析SPR传感装置的共振效果的变化情况。设计了三角形光栅-玻璃复合结构SPR传感器,在厚度为50nm的银膜上刻蚀深度为20nm的三角形光栅,改变三角形光栅的周期,和单金属SPR传感器的灵敏度进行比较,然后和矩形光栅-玻璃复合结构SPR传感器的灵敏度进行比较。银-金双金属SPR传感器有着稳定化学特性的优点。分别在银膜厚度为20nm,金膜厚度为30nm的银-金SPR传感器和银膜厚度为30nm,金膜厚度为15nm的银-金SPR传感器的基础上,设计了双金属矩形光栅-玻璃复合结构SPR传感器,改变矩形光栅的周期,和双金属SPR传感器的灵敏度和品质因子进行比较,改变矩形光栅的高度,分析不同光栅高度的SPR传感器对应的灵敏度和品质因子。当改变Au膜的厚度,通过反射率曲线来分析SPR传感装置的共振效果的变化情况。对于银膜厚度为20nm,金膜厚度为30nm结构的SPR传感器,改变金膜光栅的凹槽深度为15nm,20nm以及25nm,分别计算对应结构的灵敏度和品质因子的大小,然后进行比较与分析。