近年来,微机电系统(MEMS)得到了迅速发展,并由此出现了在微小尺寸内集成机械和电子系统的微系统,如微型减速器、微传感器、微驱动器等。随着制造技术、工艺的发展,现在已经能够加工大纵横比的三维MEMS零件,把这些零件组装成多功能的微机电系统已经成为一大趋势。本文结合国家自然科学基金课题,在分析了国内外相关技术的基础上,对MEMS微装配中的关键技术——微抓取系统进行了以下三方面的研究。通过对各种微抓取技术的分析和研究,研制了由压电陶瓷驱动的微抓取器。抓取器结构基于柔性铰链位移放大机构。利用有限元仿真和理论分析对微抓取器结构模型的运动特性和材料应变情况进行了研究,找出了柔性铰链处弯曲变形后可能存在的问题。通过理论比较分析,对原有柔性铰链结构进行了优化改进,以柔性梁结构代替。并利用材料力学的知识和有限元仿真对改进后的抓取机构作了进一步的分析。为了实现对微抓取器抓取的控制,还基于反激拓扑结构设计了一个压电陶瓷驱动电源。并利用小信号模型和仿真软件对电源的动态特性进行了分析。利用数字点位器+单片机的方式对电源输出电压进行控制,使其满足了驱动压电陶瓷驱动器的要求。通过实验验证了结合柔性微抓取机构和压电驱动电源抓取微小物件的可行性,并指出了实验中所存在的问题。根据对柔性微抓取机构的进一步分析,得到了理想情况下抓取力、驱动位移输入与柔性结构变形的关系,根据以上关系设计了一个基于抓取力反馈控制的抓取控制方案。