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纳米薄膜独特的力、光、电磁效应,使其在微电子、光学、生物等领域应用广泛。原子级超光滑衬底表面是制备纳米薄膜的基石,衬底表面的状态决定了纳米薄膜质量,其中衬底表面的残余应力对纳米薄膜的生长具有重大影响。因此,降低衬底表面的残余应力对纳米薄膜的制备具有重要意义。制备超光滑、残余应力小的衬底表面是液动压悬浮抛光的关键技术,本文对新型液动压悬浮抛光方法进行了研究,分析液动压悬浮抛光对工件表面的应力松弛效应。本文的主要研究内容有:(1)建立液动压悬浮抛光流场的三维模型,基于流体动力学的理论,在FLUENT中进