利用中频磁控溅射技术制备了Ti-Si-C三元碳基纳米复合薄膜，考察了沉积条件对薄膜微结构、组成和性能的影响，研究了薄膜微观结构与薄膜表面形貌、力学性能及摩擦学性能之间的关系，特别是薄膜在不同测试条件下的摩擦学行为。本论文的主要研究结果如下：　　1.研究了溅射靶材中TiSi与C比例对Ti-Si-C碳基纳米复合薄膜微观结构及性能的影响。结果表明，通过控制靶材的四种比例：7:7；5:9；3:11；1:13，薄膜结构从TiC柱状晶结构依次向nc-TiC/a-C(Si)纳米复合结构和非晶碳结构转变。Raman和XPS分析结果显示：随着靶材比例的减小薄膜中sp3/sp2比例减小。薄膜的硬度随着靶材比例的减小呈现减小的趋势；靶材比例为7:7时薄膜的硬度最大，为18.6 Gpa；靶材比例为5:9时薄膜硬度为18.1 Gpa，弹性恢复系数高达81.9％。不同测试条件下薄膜的摩擦系数介于0.16~0.26之间。薄膜在空气中和水中摩擦机理不同，在空气中薄膜的摩擦学性能主要由摩擦过程中形成的转移层影响，在水中薄膜的摩擦性能由水的润滑作用和摩擦化学反应共同影响。　　2.研究了氩气流量对Ti-Si-C碳基纳米复合薄膜微观结构及性能的影响。结果表明，靶材比例为7:7时，薄膜中非晶碳相的sp3/sp2比例随氩气流量增加而增大。随着氩气流量的增加，薄膜的表面粗糙度呈现先减小后增大的趋势，氩气流量为120 sccm时薄膜表面最光滑，表面粗糙度1.4 nm，此时薄膜的硬度最大，为15.8 Gpa。薄膜的耐磨性随着氩气流量的增加而增加。　　3.研究了沉积温度对Ti-Si-C碳基纳米复合薄膜微观结构及性能的影响。结果表明，靶材比例为7:7时，薄膜中非晶碳相的sp3/sp2比例随沉积温度的增加而减小。随着沉积温度的增加，薄膜的表面粗糙度呈现减小的趋势，沉积温度为150 oC时薄膜表面最光滑，表面粗糙度为1.9 nm。沉积温度为250 oC时薄膜的硬度最大，为7.9 Gpa。室温下沉积的薄膜耐磨性最好。