外场作用下多畴PZT铁电薄膜相变及印记失效分析

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近年来,铁电薄膜因在非挥发随机存储器、可调微波器件和微机电系统等新型功能器件中有着重要的应用,成为了材料领域非常重要的研究热点。本文主要关注铁电薄膜应用中存在的以下两个方面的问题:首先,当外场作用于铁电薄膜时,薄膜会发生相变。相变后薄膜的各种性能会发生较大改变,因此研究铁电薄膜在外场下的相变具有非常重要的意义。本文将从理论和实验两方面来研究铁电薄膜的相变。其次,铁电薄膜的印记失效是制约铁电随机存储器广泛应用的重要原因之一。本文采用Landau-Khalatnikov(LK)理论研究了铁电薄膜电容器的
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