掺磷纳晶硅薄膜的制备及相关特性研究

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【摘要】

：

等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)是制备薄膜材料的几种方法中技术最为成熟、操作较为简单的一种，并且可以制备均匀性高的大面积薄膜。但是采用PECVD方法沉积优质多晶硅薄膜仍必须弄清两个问题：一是薄膜的微结构表征；二是薄膜的输运性质。薄膜的微结构和输运性质决定电池的性能，因此制备优质薄膜是制作太阳能电池的关键。为解决这些问题，目前研究人员多致力于沉积条件的优化及一些辅助手段的采用。本文采用PE

【作者】

：

刘绪伟

【机构】

：

郑州大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

太阳能电池等离子增强化学气相沉积(PECVD) 纳晶硅薄膜磁控溅射氧化银薄膜

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