氧化镓薄膜的制备及性能研究

被引量 : 1次 | 上传用户：xiaov705

【摘要】

：

作为新型的第三代宽禁带半导体材料,氧化镓由于自身的优异性能,在紫外探测、高频功率器件等领域吸引了越来越多的关注和研究。本文利用射频磁控溅射和管式炉热退火的方法分别在石英衬底、硅衬底和蓝宝石衬底上制备β-Ga_2O_3薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)等分析测试手段,研究了射频磁控溅射和热退火工艺参数对薄膜结晶性、微观形貌和光学性质的影响

【作者】

：

廖奕凯

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2017年06期

【关键词】

：

射频磁控溅射热退火宽禁带半导体光刻紫外探测器高响应

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

高速列车车体承载关键部位的焊接缺陷容限研究

高速列车主体结构制造常采用中高强铝合金实现轻量化，达到节能减排和高效运行的目标。然而由于车体设计及强度分析时常常不能准确把握焊接加工过程带来的影响，比如忽视焊接缺陷

学位

7N01铝合金初始容限断裂韧度疲劳裂纹扩展速率疲劳寿命评估

经济政策不确定性与企业R&D投资——基于企业金融化的中介效应检验

以2008-2017年我国沪深两市上市公司为研究样本,实证检验了经济政策不确定性对企业R&D投资的影响以及影响过程中企业金融化的中介效应.研究发现,当经济政策不确定性上升时,企

期刊

经济政策不确定性企业R&D投资金融化中介效应

基于介孔TiO2球的染料敏化太阳能电池光电性能研究

亚微米尺寸的介孔TiO_2球具有大的比表面积和较强的光散射能力以及良好的电荷传输、收集能力而被广泛应用于染料敏化太阳能电池(DSSC)光阳极材料。本论文利用简单的两步合成法,通过改变溶剂热处理的时间和温度制备了形貌可控的介孔TiO_2球,并应用于染料敏化太阳能电池光阳极,研究了不同溶剂热处理条件制备的介孔球对电池光电性能的影响。本文在溶胶-凝胶法合成了TiO_2前驱体球的基础上,经过进一步溶剂热处

学位

TiO2介孔球溶剂热法光阳极染料敏化太阳能电池

BiOCl/石墨烯纳米复合材料的制备及其光催化性能研究

近年来，光催化氧化分解有机污染物的技术得到了极大的关注。含铋化合物具有廉价、环保的特点，近来逐渐成为光催化剂研究开发的一个热点。研究表明BiOCl具有光催化活性，且性能在理论上有超过P25的可能性。但存在颗粒大、比表面积小等缺点，其性能有待提高。其中，材料复合技术是一种有效的改性方法，值得探索。本文在用乙醇和金属钠的溶剂热合成法成功制备高产石墨烯的基础上，以硝酸铋、氯化钾和石墨烯为原料，尿素为沉淀

学位

光催化剂石墨烯BiOCl/石墨烯纳米复合材料气相光催化性能

餐厨废水的处理技术与设备及油脂回收方法研究

本研究以餐厨废水为研究对象，调查了某高校大型学生食堂餐厨废水的水质特性和排放规律，对比研究了重力隔油-溶气气浮和重力隔油-电凝聚气浮技术对餐厨废水的处理效果，并初步探索动植物油的回收方法。高校食堂餐厨废水水量大，水质波动性大，出水时间集中，水质偏酸性。废水中动植物油浓度的范围为308~3236mg/L、化学需氧量（CODCr）浓度范围为1470~10690mg/L，悬浮物（SS）浓度范围为287~

学位

餐厨废水隔油加压溶气气浮电凝聚气浮

二级污水处理厂提标改造方案研究

国内很多在建设较早并已投产运行的城市污水处理厂,当时大多采用了比较先进的设计理论,由于在设计时国家尚未发布相应的标准,所以设计出水标准仅能采取较为严格的水质标准。

学位

除磷脱氮工艺立环氧化沟二级污水处理厂提标改造

GAC/H2O2降解二级出水中溶解性有机物

污水回用作为合理利用淡水资源的一种有效方法，受到越来越多的重视，生活污水处理厂经二级处理后的污水虽可以直接排入水体中，但是二级出水仍不能直接作为安全的回用水，其中含有复

学位

GAC/H2O2联合体系溶解性有机物二级出水降解能力污水处理

氧化镓薄膜的制备及性能研究

其他学术论文