爪型转子的理论型线研究及其CAD/CAM

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在新兴的半导体工业中芯片、光学通讯元器件及平板显示器等产品的生产过程中,无油分子泵、低温泵等干式中高真空泵得到了广泛的应用.与这些干式中高真空泵相配合的前级低真空泵大多是传统的油封式真空泵.为降低油污染,通常在中高真空泵与低真空泵之间串接入冷阱,但此方法已经不能满足真空环境洁净度的要求了.因此,研制和开发性能价格比高、寿命长、结构简单、抽气效率高的干式真空泵成为当前乃至今后相当长一个时期的真空科技人员迫切需要解决的问题之一.在众多的干式真空泵中,爪型干式真空泵是备受半导体、光学器件等高科技行业青睐的一种容积式干式真空泵.该课题围绕爪型干式真空泵的主要关键部件——爪型转子,作出以下具体工作:研究了简单、快速生成型线的计算机模拟创成法.该方法的使用步骤是:通过简单曲线的圆滑连接构造出转子型线;构造出共轭转子的型线轮廓,初步判断是否合理;根据啮合原理求出合理的共轭转子型线;通过啮合动画验证型线选择是否正确.开发了一套爪型转子理论型线参数化设计软件.这套软件有两个版本:独立版本和基于AutoCAD2002的二次开发版本.独立版本采用VC++6.0和OpenGL编写,主要实现模拟创成和转子啮合动画演示等功能.二次开发版本采用VC++6.0和ObjectARX编写,主要实现转子的参数化绘制和性能参数计算等功能.使用该软件设计出五种爪型转子型线,并建立了一套型线评价方法和标准,同时绘制了容积利用系数随形状系数变化的曲线,最后对五种爪型型线进行了分组比较.对爪型转子的加工方法进行探讨.基于CAD/CAM原理,在MasterCAM软件上设计生成转子加工的刀具路径,并用三维动画模拟转子的加工工艺过程,同时生成通过微机的RS232接口与数控机床直接通讯的NC码和NCI码.
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