微机械系统（MEMS）技术的出现和发展，使非制冷红外传感器获得了新的发展动力。基于MEMS技术的非制冷红外传感器件具有体积小，响应时间短，功耗低，成本低等优点，具有广阔的市场前景。 本论文提出了一种新颖的微机械Golay型红外传感器，其结构上力求提高目前Golay型红外传感器的性能。文中对器件的工作原理、热力学模型和性能优化进行了详细的论述，得出了这类传感器的一些重要的设计原则；并完成了工艺流程中三个关键工艺的研究与实现。 第一章介绍了红外技术的发展过程、方向、基础理论和应用，接着概述了MEMS技术的发展与特点，最后给出了微型化Golay型红外传感器的意义。第二章给出了一种新的结构简单，具有高性能潜力的Golay型红外传感器。根据设计的模型，给出了详细的理论分析与优化讨论，并得出一些设计原则。分析计算得出该器件的理论灵敏度为32nF／W，等效功率噪声（NEP）为1.827×10^-9W／Hz^1/2，3dB带宽为29.3Hz。在章尾，给出采用光学读取方式的器件结构和实现方法，并分析了该器件的性能与优势。 论文的第三章主要探讨了关键的分步工艺：pyrex7740刻蚀、红外吸收层选择与制作、浓硼自停止制作薄硅膜；并且叙述了器件制作的工艺流程。最后解决了版图设计中出现的问题。第四章给出了器件的测试方法、制作结果和结果分析。第五章对论文工作进行了总结。