【摘 要】
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在硅晶体的精磨加工方面,树脂结合剂金刚石砂轮的磨削精度高,但其磨削质量不稳定,耐磨性和自锐性较差,需要经常修整,降低了生产效率。因此本文新开发一种铝基结合剂金刚石砂轮,用于硅晶体的精磨加工,旨在实现提高砂轮耐磨性和自锐性,提高生产效率等目标。本论文通过理论分析,设计了铝基结合剂金刚石砂轮的配方,并对该配方成分及比例和烧结的工艺参数(烧结温度、烧结压力、保温时间)进行了优化实验。以铝基结合剂烧结体的
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在硅晶体的精磨加工方面,树脂结合剂金刚石砂轮的磨削精度高,但其磨削质量不稳定,耐磨性和自锐性较差,需要经常修整,降低了生产效率。因此本文新开发一种铝基结合剂金刚石砂轮,用于硅晶体的精磨加工,旨在实现提高砂轮耐磨性和自锐性,提高生产效率等目标。本论文通过理论分析,设计了铝基结合剂金刚石砂轮的配方,并对该配方成分及比例和烧结的工艺参数(烧结温度、烧结压力、保温时间)进行了优化实验。以铝基结合剂烧结体的洛氏硬度、抗弯强度以及喷砂硬度为判断性能优劣的主要依据,对配方的成分及比例和烧结工艺参数进行调整,得出最优化配方和最优化的烧结工艺参数。通过扫描电子显微镜观察铝基结合剂烧结体的断口形貌,总结出不同配方及烧结工艺参数下断口形貌的变化规律,并通过分析断面的烧结质量、各物料的熔融均匀程度来对配方成分和工艺参数进行优化调整。将制成的铝基结合剂金刚石砂轮对单晶硅棒进行磨削试验,记录磨削参数、磨削过程中的电流及磨削后硅棒的表面粗糙度。将数据与树脂结合剂金刚石砂轮的磨削数据进行对比,分析制备的铝基结合基砂轮的性能。通过电子显微镜拍摄磨削后砂轮的磨损形貌图,对铝基砂轮的磨损形式进行了分析。利用MATLAB编程分析软件编写代码,对砂轮磨削试验时采集的音频文件进行信号分析,得出磨削声音信号的波形图和时间-频率-能量三维图,并与树脂砂轮的磨削声音得到的图像进行对比,分析铝基砂轮与树脂砂轮的性能差异。
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