【摘 要】
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该文用非平衡热力学耦合模型计算了碳氢、碳氢氧、碳氢氮体系中CH和CH基团浓度随着衬底温度、压强和碳浓度等条件的变化,研究了金刚石薄的生长取向.研究人员用非平衡热力学耦
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该文用非平衡热力学耦合模型计算了碳氢、碳氢氧、碳氢氮体系中C<,2>H<,2>和CH<,3>基团浓度随着衬底温度、压强和碳浓度等条件的变化,研究了金刚石薄的生长取向.研究人员用非平衡热力学耦合模型计算了碳氢体系、碳氢氧体系、碳氢氮体系和碳氢卤素体系[CH<,3>]/[H]的变化,从理论上探讨了演积高质量的金刚石薄膜的条件.研究人员从驱动角度研究了低压CVD生长金刚石薄膜的生长.根据非平衡热耦合模型计算了碳氢体系、碳氢氮体系和碳氢卤素体系中随着不同条件下金刚石和石墨驱动力的变化.
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