【摘 要】
：
该文所研究的是真空微电子的一个分支—硅基场发射阵列,它具有工艺简单,易于控制,并且和IC工艺相兼容的特点,是真空微电子研究领域的一个重要部分.在该文中,作者主要进行的是
论文部分内容阅读
该文所研究的是真空微电子的一个分支—硅基场发射阵列,它具有工艺简单,易于控制,并且和IC工艺相兼容的特点,是真空微电子研究领域的一个重要部分.在该文中,作者主要进行的是硅基场发射阵列性能的研究.在实验中,作者采用了NHA湿法腐蚀的工艺得到硅尖阵列,为了得到更好的尖锥,作者还进行了干氧氧化削尖.为了进一步降低场发射电压,提高发射电流密度,作者还对硅尖阵列进行了生长类金刚石薄膜的处理,生长金刚石薄膜作者采用的是液相法,此方法成膜质量好,工艺简单且易于控制.经SEM的测试,证明作者得到了良好的硅尖阵列和类金刚石薄膜.在实验中,作者对得到的不同工艺的硅尖场发射阵列进行了电学性能的测试,结果经过膜化处理的硅尖场发射阵列的发射特性较之未经膜化处理的场发射阵列有明显的提高,并表现了Fowler-Nordheim发射特性.最后作者对此进行了理论的分析,认为类金刚石薄膜所具有的负电子亲合势和它的P型半导体的特性是造成场发射特性提高的主要原因.
其他文献
超声多普勒技术是当前临床医学中一种常用的重要诊断手段目前，超声多普勒信号的分析主要以功率谱分析为主，方法上以动态分析、线性分析为主。为了进一步发扬超声多普勒技术在临
随着数据传输速率进入Gbps时代，串行I/O（输入/输出）接口逐渐取代并行I/O接口，成为高速通信协议的主流结构。串行I/O接口在接收端采用CDR（时钟数据恢复）电路，从根本上解决了传统并行I
太阳能是一种非常重要的新型能源，它具有分布广泛、取之不尽用之不竭、并且无污染等优点。因此太阳能的研究与应用成为了近年来能源领域研究的热点与重点。目前，市场上的太阳能
普通鳾(Sittaeuropaea)和黑头鳾(Sittavillosa)是林区两种常见的次级洞巢鸟，为典型的食虫鸟。二者为相似种，也是分布在北京林区的仅有的两种鳾科鸟类。2007年4月至7月、12月至2
单壁碳纳米管(SWNTs)具有优异的电学、热学、机械等特性，可以作为场效应管、场发射器件、化学传感器及微能源器件等的关键材料，有着广泛的应用前景。由于SWNTs器件的尺寸较小，单
辽宁省果树科学研究所苹果研究室多年来一直从事苹果新品种选育和高效栽培技术研究。近年来选育出多个优质、丰产的新品种(系),形成了熟期分布合理,区域化强的品种格局。主要
目前市场主流的非易失存储技术-Flash在缩放性方面面临越来越多的挑战，在新型的存储技术中，相变存储器由于其低功耗、高密度、读写速度快、可缩放至7nm技术节点以及与标准的CMO
该文从光电信号在媒体中快速而稳定的传播这一自然现象出发,利用器件的延时稳定性,当信号通过延时器件传播时,在计算机的控制下,对延时器件的形态进行高速采集及数据处理,实
该文首先介绍了语音压缩编码技术的过去,现在和未来,然后描述了各种波形编码,参数编码和混合编码的方法,其中重点阐述了线性预测编码及其几种改进的编码方式和近年来出现的几
论文主要介绍基于核的片上系统设计,重点放在IP核技术的设计方法学和一些标准要求上.并就软核的开发作了详细的阐述.最后就GPIB软核的开发与应用作为一个实例加与说明.论文共