工程陶瓷以其优越的性能现已广泛应用于工程领域中,而目前工程陶瓷加工方法多数采用金刚石砂轮的普通磨削,效率低成本高,增大磨削用量容易导致零件产生表面损伤,加工质量难以满足要求。高效深磨技术是近年来发展起来的一种高效率磨削技术,采用高效深磨技术对陶瓷材料进行加工不仅可以大大提高效率,降低加工成本,还能保证较好的表面加工质量。而在高效深磨过程中,随着砂轮线速度的极大提高,导致影响磨削过程不稳定的因素加剧,从而对机床主轴单元、进给单元等机床关键部件的动力学性能的要求也随即提升。存在的问题之一在于超高速磨床主轴砂轮系统转动不平衡以及高效深磨工艺参数不匹配所带来的磨削过程的振动问题,这会使磨削加工时在工件表面上留下振纹,造成加工误差。本文以超高速平面磨削实验台为试验平台,研究高效深磨振动特性及对工程陶瓷加工表面质量影响的规律为目的,针对磨削过程中振动的检测与控制以及磨削表面加工质量进行了理论研究和试验分析,优化了磨削工艺参数并对机床关键部件动态特性薄弱环节提出改进建议。首先建立平面切入式磨削动态模型,并研究了其频域和时域的稳定性。通过对超高速磨削实验台进行结构动态性能测试和空转试验,得到机床结构模态参数和外界振源因素对磨削过程的影响特征。然后在进行工程陶瓷材料的高效深磨工艺试验基础上,采集加速度振动信号和磨削力信号进行时域和频谱分析,研究磨削过程的动态特性。接着对试件加工后表面质量进行测量和评价,并讨论振动特性和磨削参数对其的影响规律。最后综合振动特性和表面质量的分析结果,提出了磨削加工的参数优化方案。