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本文采用磁控溅射法结合硫化法、硒化法制备了ZnS、ZnSe及ZnS_xSe_(1-x)薄膜,利用XRD、SEM、EDS、紫外-可见光分光光度计、拉曼光谱及慢正电子束多普勒展宽能谱对薄膜进行了一系列表征,研究了硫粉质量对ZnS薄膜、沉积温度对ZnSe薄膜、不同化学组分对ZnS_xSe_(1-x)薄膜的结构、微观缺陷以及光学性能的影响。Zn金属薄膜与不同质量的硫粉在500℃下硫化6h制备了ZnS薄膜,研究发现:ZnS薄膜为六方相结构,SEM和EDS结果表明硫粉质量为1.5mg时薄膜的表面均匀,致密性最好