基于薄膜体声波技术的器件设计及应用

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随着无线通信技术的快速发展,人们对于能同步处理大量数据的多通带收发器的需求与日俱增。近年来,多通带收发器已被广泛地应用在定位系统和多标准的系统中,这些系统需要同时处理不同频段的信号以提高系统的整体性能。尽管单个芯片中频率带的个数不断增加,而消费者对小型化、多功能的便携式设备的需求越来越高,小型化成为芯片的发展趋势,这就对滤波器的尺寸提出了更高的要求。如果采用传统的波导技术实现多频带滤波器,滤波器尺寸会过大,无法满足移动设备的需求。为了迎接这一巨大挑战,人们已经关注一种新兴的薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,简称FBAR)技术,因为FBAR具有品质因数高、功率处理能力强以及与标准集成电路(IC)的兼容性好等一系列的固有优势。本论文首先对薄膜体声波谐振器的理论基础进行讨论。然后论文分析FBAR的MBVD电学模型和梅森物理模型,重点讨论基于二端口网络的FBAR滤波器的设计研究方法。论文详细说明了微型的射频双通带FBAR滤波器的设计方法并展示了测试结果,测试结果与仿真结果非常接近。双通带滤波器由两个共享输入和输出端口的FBAR滤波器实现,并且用一个简单的匹配网络有效减弱了通带间的干扰,实现了性能良好的双通带滤波特性。实测的低频通带和高频通带的中心频点插入损耗典型值约为2 dB,带外抑制超过30dB。论文还提出了一种巧妙的宽带低损耗FBAR滤波器的设计架构,新架构通过引入了特殊的并联支路来调节零点位置,实现了具备很高工程应用价值的FBAR宽带滤波器。实测的回波损耗小于-15dB,带外抑制大于40dB。
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