光刻机是生产大规模集成电路的核心装备，制造和维护光刻机需要高度的光学和电子工业基础。作为集成电路生产工艺中最重要的一环光刻，它的灵魂装备光刻机，结合了当今诸多现代科技于一身。如果把光刻机比作一个人，光刻机软件就是这个人的大脑，光刻机的实际应用情况，决定了光刻机软件的复杂度和精密度要度远远超过普通应用软件，要保证这个大脑的可靠性，保证光刻机软件的正常运行，不仅仅需要开发人员的努力，大量的软件测试也是必不可少的。本文的目标是设计并实现了一个针对现阶段国产先进封装光刻机软件开发过程的自动化测试工具，它实现了在一般操作环境上测试运行在SUN平台和vxWorks平台上的光刻机软件，并帮助实现自动化测试过程，提高了工作效率。此套自动化测试工具实现后，在实际的工作中也得到了比较好的应用。首先论文介绍了光刻技术的基本原理，之后阐述了软件自动化测试的优势，之后论文对软件自动化测试在国内和国外的现状进行了分析，并简单介绍了软件自动化测试的过程，之后对现有市场上的一些商用自动化测试工具进行了调研，在此基础上，认为自主开发一套能够适合现有光刻机软件系统开发过程的自动化测试工具，是最合适目前的现状的。在工具开发前，论文介绍了现阶段最新国产先进封装光刻机的整机软件构造，展现了光刻机整机软件的系统架构和系统范围，在此基础上，描述了光刻机软件的主要业务和功能需求，并分析了在实际生产过程中，光刻机软件的主要运行参数。经过以上的分析，本论文就进入测试工具设计需求阶段，描述了软件的设计背景，并对自动化测试工具所要实现的软件需求进行了一个概述，提出了自动化测试工具的总体设计目标和思路，在此基础上，将自动化测试工具分解为测试驱动模块、测试公共库模块、代码生成模块、数据服务模块几大部分，分别实现通用测试驱动、底层的公共的测试接口库、代码生成、数据服务等功能。在工具的具体实现阶段，论文介绍了整体自动化测试框架的选择，描述了需求中提到的各个模块的设计与开发，着重描写了测试公共接口库模块所使用的技术特点、通讯机制以及错误处理方式。以底层测试公共接口库为基础，各个模块之间能够互相配合，达到自动化测试的最终目的。文中还约定了测试用例文件、测试数据文件的格式，以及相关配置信息。在自动化测试工具完成开发之后，在光刻机软件系统的实际测试过程中，对自动化测试工具进行了实验验证，对测试结果做了统计与分析。论文最后对整个工作进行了总结，指出了此次设计与实现的自动化测试工具的不足，并探讨了未来的发展方向。