类金刚石薄膜的相变参数研究和应用

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【摘要】

：

表面涂层技术在工程中的应用愈来愈广泛,在零部件的配合部位涂敷涂层后,能有效地提高接触区域内的抗摩擦磨损能力,提高部件的抗腐蚀能力,延长零部件的使用寿命。涂层与基体、涂层与涂层之间的结合界面由于加工工艺、材料性能的原因,存在各种缺陷,如残余应力过大,界面剪切破坏等等,最终导致涂层破坏。本文采用等离子体化学气相沉积(PCVD)方法在Si(100)基体上沉积DLC(diamond-like carbon

【作者】

：

骆仕丹

【机构】

：

西南交通大学

【发表日期】

：

2010年05期

【关键词】

：

类金刚石薄膜相变系数残余应力有限元

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