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硅微谐振式加速度计是一种基于MEMS技术的新型微惯性器件,它具有体积小、功耗低、灵敏度高、测量动态范围大等特点,是一种适用于高精度导航系统的加速度计,具有广泛的应用前景。然而对比国内外研究现状可以发现,目前国内研制的硅微谐振式加速度计在稳定性指标上仍与国外领先水平存在一定差距。为此本文围绕硅微谐振式加速度计振荡电路稳定性展开研究工作,主要包括加速度计机电接口建模、基于非线性控制的闭环振荡电路幅度控制方法、振荡器相位稳定性分析和电路设计等内容。首先,分析了硅微谐振式加速度计的工作原理,阐述了加速度计的