微机械加速度传感器作为一类重要的惯性器件,在各个领域都有着广泛的应用。使用传感器需要检测电路作为辅助,因此设计好的检测电路显得越来越重要。本论文的主要任务就是根据传感器敏感模块输出信号的特点和要求,设计并制作针对变面积电容式微机械加速度传感器的检测电路。论文首先介绍了常见加速度传感器的工作原理,重点介绍了变面积电容式加速度传感器的工作原理,分析了传感器输出信号的特点,为设计检测电路提供理论依据。接着分析了常见的电容检测电路,重点介绍了单载波双路积分调制型和双载波单路积分调制型检测电路的原理,最终选择了单载波双路积分调制型检测电路。然后设计了检测电路的各功能模块:载波发生器、C-V转换级、高通滤波器、带通滤波器、相敏解调电路、低通滤波器、A/D转换和显示模块、及程序的编写等。在制作PCB板之前先用EDA软件Orcad进行仿真,以验证设计的正确性,最后制作了PCB板,调试完成后测量了检测电路灵敏度、分辨率、非线性度、零漂、带宽等性能指标,实验结果表明,电路具有很好的灵敏度和很好的抑制噪声能力。