在当今的工业加工中,产品的尺寸越来越小,精度也越来越高,这些促使着加工方式朝着精密、稳定的方向发展。微细电火花电解复合加工技术因其具有非接触加工、精度高、适用性强等一系列优点,特别适合微小尺寸、难加工材料零件的加工。本文提出了一种利用静电驱动的微细电火花电解复合加工的方法,该方法改善了目前电火花电解复合加工中进给精度低、排屑困难、稳定性差等问题。本文设计了可应用于微细电火花电解复合加工的工具平面电极,该工具电极和工件构成静电驱动微驱动结构,达到可控微进给的目的。为保证微进给结构工作的稳定和可控,分析了平面电极的各种参数与平面电极的形变位移之间的关系和稳定工作条件。在实际加工实验中,设计了一套主要由可控脉冲电源、静电驱动微执行器和工作液循环过滤系统构成的微细电火花电解复合加工装置。在机理分析方面,分析了静电驱动微细电火花电解复合加工(ECDM)的加工工艺过程。研究了加工间隙拉伸和压缩促进极间排屑和消电离的作用过程。实验中,进行了静电驱动结构的可行性加工实验,根据电极的固定结构分为:悬臂梁式平行板固定方式下的加工实验和一端固定一端支撑平行板固定方式下的加工实验。实验验证了静电驱动加工方式的实际应用性,在此基础上进行了静电驱动的微细电火花电解复合加工实验。实验表明极板形变造成的加工间隙的拉伸和压缩可以有效的促进加工间隙内的排屑和消电离,减少了加工过程中的短路频率以及因废屑产生的非正常电弧放电现象。低浓度的钝化电解液(如Na NO3)因其具有定域性强的优势,特别适合于微细电火花电解复合加工。电极参数会影响加工稳定性,在实际加工中应根据需求合理选择电极参数。脉冲电源的参数对加工精度和加工效率有很大的影响,电压越大,电流密度越高,加工的效率越高,但加工出来的工件表面越粗糙、精度越低。在一定范围内电源的频率越高,工件的加工精度越高,效率也越高。