压力传感器仿真平台的研究与设计

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随着计算机技术的不断发展,对压力传感器新技术的不断需求,压力传感器计算机辅助设计越来越被关注。本文以实用为原则,基于Visual C++和ANSYS接口技术开发了参数化压力传感器有限元分析系统,该系统有助于推动压力传感器行业向更高水平发展。借助Visual C++软件开发了友好的人机交互界面,对复杂的、难于理解和掌握的ANSYS命令流进行后台封装。首先,根据膜片的基本特性,在深入地分析了设计理论、膜片结构和载荷特点的基础上,采用APDL语言编写了用于波纹膜片和硅敏感膜片有限元计算的自动建模程序。然后,对波纹膜片几个主要参数对膜片性能的影响作了系统的分析,重点探讨了波纹数、波高和膜片厚度变化对膜片中心位移的影响,通过对膜片模拟数据分析,得出了最佳性能的波纹膜片结构参数。最后,对硅压力传感器应变膜表面的应力差分布进行了计算机模拟和系统地分析,给出了方形膜压力传感器芯片的应力差分布情况。探讨了应变膜尺寸对应力差分布的影响,得到了直观可靠的结果。根据模拟结果,设计了波纹膜片和硅敏感膜片,并用于压力传感器生产中。实测结果表明,模拟分析结果与试验结果基本吻合,验证了仿真平台的可靠性和适用性。
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