当今社会,随着科学技术的飞速发展对光学元件的需求逐渐走向大型化和超精细化,计算机控制光学表面成型技术和非接触式抛光技术得到了迅猛发展。为了保持动压抛光精度高、质量好的优点并提高加工效率,本文提出了盘式动压抛光的加工方式,把传统的动压抛光由点接触、线接触演变为面接触,并对该方法在基础理论方面和工艺实验方面进行了细致的研究。首先,本文以流体动力学知识为基础推导了在动压抛光过程中各参数之间的关系,其参数包括压强、承载力、流量、转速和液膜厚度,得到了液膜厚度控制方程。采用当下流行的CFD软件对理论模型进行了数值分析,并与理论推导结果进行比对,印证了理论推导方程的正确性,为后续的实验控制方式提供了指导。其次,为了实现抛光过程的稳定可控并降低机械设备的制造和装配精度需求,本文利用FLUENT对液膜出现厚度不均匀的情况进行了分析,表明此时液膜会对工具提供偏载力矩用以矫正工具的位姿,据此可以得知实现工具的自修正在理论上是可行的。为了在机械结构上保证工具的自修正能力,本文设计了两种柔性结构,对柔性结构进行动力学仿真分析,验证了其结构上可以实现工具的自修正。最后,搭建完成盘式动压抛光实验台并进行了抛光实验,对抛光过程中工具的位姿进行测试,通过数据的对比分析发现了工具的半频振动现象,这证明了液膜的存在性和动态稳定性,并且随着工具转速的提高工具的振动幅度会增大。抛光前后K9玻璃的测试数据分析结果表明,本加工方式可以实现超精密抛光。