集成电路的高速发展对光刻技术及光刻设备提出了越来越高的要求,光刻机物镜镜片作为光刻机的重要组成部分,其镜面精度严重影响光刻设备性能。物镜镜片在自重作用下产生的变形会影响光学系统的波前差,而对于此类误差很难有效消除。由于镜片厚度与镜片支撑点分布的宏观尺寸远小于镜片直径,其几何特征符合弹性力学中对于薄板的定义。因此,通过力学分析方法,基于弹性薄板理论研究镜片挠度变化对提高光刻机整体精度性能具有重要意义。首先,分析镜片均匀点支撑下的挠度问题。基于板壳理论和功的互等定理,引入光学领域的泽尼克系数、PV值和RMS值作为表征镜面整体面形精度的指标,通过理论推导得出等厚度圆形镜片在若干均匀点支撑情况下的挠度变化表达式,并且将推导得到的挠度解析解进行泽尼克拟合,获得三十七项泽尼克系数;同时,使用有限元仿真软件计算得到同种工况下的镜面挠度数值解,将数值解拟合得到泽尼克系数,并将两者结果进行对比验证。然后,在镜片均匀点支撑的基础上,深入分析当各支撑点处支反力非均匀分布时镜片的变形情况。推导出支反力非均匀分布时镜片点支撑的挠度解析表达式,并将镜面各点挠度进行泽尼克拟合获得泽尼克系数,同时通过有限元仿真得到同种工况下的挠度数值解答以及数值解的泽尼克拟合系数,再次进行对比验证。最后,基于Matlab编写软件界面,将均匀支撑与非均匀支撑下的镜片面形计算程序封装成独立软件。本文计算结果表明,采用功的互等定理结合弹性圆薄板理论计算得到的镜面挠度表达式,对于均匀点支撑,其典型点挠度误差小于5%,PV值和RMS值等光学相关衡量指标的误差小于6%;对于非均匀点支撑,PV值和RMS值精度误差小于7%。另外,本文的计算方法对于内点支撑以及变厚度点支撑等其他复杂工况同样适用。