高密度平面光集成及与当今IC工艺相兼容是当前光波导技术发展的重要方向之一。由于微环结构的功能多样性、结构紧凑性、很好的波长选择性，使其成为很有潜力的集成光路基本功能结构。随着平面工艺水平的不断提高，基于平面波导技术的光微环谐振器逐渐受到人们的关注和研究，并得以迅速发展。微环结构在光电子领域的地位就像晶体管在电子领域一样，几乎所有光电器件功能都可以使用微环实现。使用玻璃基离子交换工艺制作的大半径无源环谐振器可作为惯性旋转传感器、波长传感器、温度传感器、声波传感器和光学陀螺等，具有重要的应用价值。论文在综述了微环谐振腔的应用背景、发展历程和研究玻璃基微环意义的基础上，重点研究了玻璃基微环谐振器的设计与制作。根据耦合模理论分析了微环谐振器的工作原理；在设计中使用Rsoft公司的BeamProp软件模拟来优化器件尺寸；在工艺制作方面，结合实验室离子交换技术的工艺条件，主要在三方面做了探索和比较工作：实验中采用了不同的玻璃基底(BK7、B270、K9、Z0和Z1)；也研究了不同浓度配比的交换熔源；并且分别采用了一次交换和加电场掩埋的工艺。论文对所制作的器件进行了测试分析，测试表明，半径为500um的环形和跑道型结构、半径为3000和3500um的环形结构都显示出了微环的谐振滤波特性。综上所述，论文从理论分析到设计版图，再从工艺制作到测试分析，系统地描述了玻璃基微环谐振腔研制的各个方面，得到了较好的实验参数，所制作的微环器件表现出很明显的谐振滤波现象。