火箭燃料贮箱栅格的精密加工对火箭发射的安全性和经济性起着至关重要的作用。基于测量加工一体化的镜像铣削方式凭借其效率高、通用性强、精度高等优点,成为了解决该类大型薄壁构件加工问题的有效途径。为保证镜像铣削精度,加工过程中,铣削刀具与支撑末端的中心轴线必须始终沿加工点的法矢方向。为此,在支撑末端采用阵列涡流传感器实时测量位移以获取加工局部表面的法矢方向。显然,法矢测量精度是保证镜像铣削加工精度及稳定性的前提,而涡流传感器位移测量精度又是保证法矢测量精度的基础。因此,提高涡流传感器位移测量精度也是在为保障镜像铣削加工精度奠定基础。基于课题背景,本文将探究倾角及耦合干扰对涡流传感器位移测量精度的影响规律。阐述了涡流传感器的测量原理,对线圈等效阻抗分量进行了理论分析。通过电磁场仿真软件ANSYS Maxwell完成了仿真建模,对线圈尺寸、激励频率、被测材料属性等参量的影响规律进行了分析。发现线圈厚度越小、内半径越大时,传感器测量灵敏度就越高；涡流密度随激励频率增大而增大,趋肤深度则会随激励频率增大而减小；传感器对铁磁材料与非铁磁材料测量时,线圈等效电感的变化趋势相反。针对倾角和耦合干扰分别建立了分析模型,完成了相应的仿真建模。基于倾角模型对比分析了倾角为零和非零时的涡流分布及密度。通过对倾角、提离高度和等效阻抗三者之间的关系进行研究,发现倾角和提离高度对等效阻抗影响趋势相反,即倾角会导致传感器测量值偏小,且平均误差随倾角增大呈高斯函数型增长。基于耦合模型对比分析了不同间距下的涡流分布及密度。通过对线圈互感、传感器间距和提离高度三者之间的关系进行研究,发现传感器间距和提离高度均会对耦合干扰强度产生影响,并探究了不同激励频率对耦合干扰强度的影响。实验探究了倾角和耦合干扰对涡流传感器位移测量精度的影响规律,并对测量误差进行了补偿。搭建倾角实验平台,通过对比实验验证了倾角导致传感器测量值偏小,且平均误差随倾角增大呈高斯函数型增长的规律。搭建耦合实验平台,通过对比实验验证了间距过小时传感器的测量量程衰减,且衰减百分比随间距增大呈指数规律衰减。另外,提离高度对耦合干扰强度具有明显的分段影响规律。