【摘 要】
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硅微机械陀螺仪具有体积小、质量轻、成本低等特点,因而具有广泛的应用前景。在硅微机械陀螺仪的研究中,陀螺仪灵敏度和分辨率的提高始终是人们追求的主要目标。本论文针对一种新型的基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪进行研究,主要研究内容包括以下几个方面:1)介绍了传统硅微机械陀螺仪的基本工作原理,并对陀螺仪中的空气阻尼问题进行了分析,最后指出了传统硅微机械陀螺仪存在的问题:①频率的跳动对陀螺仪的性能影响较大。当
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硅微机械陀螺仪具有体积小、质量轻、成本低等特点,因而具有广泛的应用前景。在硅微机械陀螺仪的研究中,陀螺仪灵敏度和分辨率的提高始终是人们追求的主要目标。本论文针对一种新型的基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪进行研究,主要研究内容包括以下几个方面:1)介绍了传统硅微机械陀螺仪的基本工作原理,并对陀螺仪中的空气阻尼问题进行了分析,最后指出了传统硅微机械陀螺仪存在的问题:①频率的跳动对陀螺仪的性能影响较大。当驱动模态频率和检测模态频率之间有10%的误差时,陀螺仪的灵敏度下降为原来的5.3
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为了提高超声检测的效率和可靠性，本文在基于PC的超声检测虚拟仪器的基础上，综合应用超声检测技术、虚拟仪器技术、计算机技术、电子技术和数字信号处理技术，进一步完善了超声检测虚拟仪器的功能，使其不仅能够完成超声信号的实时采集、分析、处理，还能通过软件控制扫描系统完成超声的A、C扫描、数据处理和基本的缺陷定位、定量和定性分析等功能，实现了超声检测的图像化、智能化和自动化。 超声检测虚拟仪器是由数据
人体运动的检测与跟踪是人体生物力学研究的主要内容，近年来日益受到人们的广泛关注。该领域的研究在体育科学、医学、仿生机构和机器人运动控制方面有着广泛的应用，尤其在人性化设计和全球老龄化的趋势下，研究人体的运动特点能使人们的日常生活更加安全、高效，还具有广泛的应用前景和良好的社会效益。 本文通过构建一套多维摄像测量系统，对从三台摄像机中采集的长序列图像进行分析处理，检测出人体体表标记点的三维运动
随着微电子技术、计算机技术、嵌入式技术的高速发展及其在工程检测中的应用,新的设计理念、新的实现方式不断出现,并突破了传统工程检测系统的设计模式。新一代嵌入式非金属超声检测系统的工作模式更为灵活,结构划分更为合理、任务分工更为科学,具有广泛的应用前景。本课题采用高性能微处理器和嵌入式多任务实时操作系统,设计模块化的嵌入式非金属超声检测仪,可完成声波采集、数据处理、自动提升、人机友好交互等功能。该系统
随着科学技术的不断发展,在计算机技术及微电子器件应用十分广泛的基础上发展起来的智能仪表,在测量的准确度、灵敏度、可靠性及自动化程度上都有了质的飞跃,由此也对流量检定装置提出了更高的要求。目前国内外广泛采用的流量标准装置一般都为水塔式或稳压容器式稳压方法,造成不可避免的节流损失,能量浪费非常大,而且手工操作效率很低,增加了检测成本。本文在查阅了国内外有关参考文献的基础上,在对流量检定系统的基本原理进
在微机械领域，为了能够以更高的精度和可靠性来安装和测试微系统元件，具备传感功能的微夹钳是非常必要的。利用压电陶瓷具有双向换能可逆性的特点可实现压电自感知夹钳，其优点是可真正实现同位配置、提高控制稳定度、减小系统体积和重量、优化系统设计。自感知夹钳实现的难点是传感信号与执行信号的解耦，本文采用空分复用法做为解耦方法。文中详细介绍了夹钳的结构设计，阐述了夹钳在新的工作模式下能自感知力的可行性，并确定夹
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基于微加工技术制造的高g值加速度传感器等微惯性器件，广泛地应用在航空航天领域、汽车气囊以及导弹和智能化炮弹的精确控制上，主要用于高速运行的载体在启动和运行过程中速度变化的测量与控制。微惯性器件主要通过微构件的微小位移或变形来实现测量功能，其微构件的振型和谐振频率等动态特性在很大程度上决定了器件性能。研制开发微构件在高g值条件下动态特性的实验测试装置，对测试微构件动态特性及其随加速度条件变化规律的研
涡流检测(ET)具有易耦合、速度快、成本低等优点，已广泛应用于各工业部门。但涡流检测存在集肤效应，导体内部缺陷很难通过涡流的变化反映出来。因此，研究在一定灵敏度条件下如何提高涡流检测的渗透深度具有重要意义，其中尤以高性能涡流检测换能器的研究为关键。本文即是基于某特定零部件电子束焊缝有效焊深无损评价的要求，开展了专用高性能涡流检测换能器的研制工作。 本文首先分析了检测过程中影响涡流换能器性能的
微电子机械系统以及纳米机械的迅速发展对于分子尺度下器件摩擦、润滑和磨损特性的研究提出了迫切的要求。因此从分子层面上研究摩擦的起源机理对于掌握摩擦的本质以及实现超固体润滑零摩擦有着重要的意义,同时,模拟分析超薄膜流体的性质,寻找其与宏观连续体模型的区别与联系,对于未来微流管设计,建立微观流体的基础理论有一定的指导意义。本文首先介绍纳米摩擦、润滑研究的计算机模拟工具-分子动力学,并对于本文模拟的固体,