【摘 要】
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减反射薄膜是一种应用范围很广的光学镀层,广泛地应用于日常生活、工业、天文学、军事学、电子等领域.随着电子工业和计算机的发展,显示器防眩防静电膜和电脑视保屏成为减反
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减反射薄膜是一种应用范围很广的光学镀层,广泛地应用于日常生活、工业、天文学、军事学、电子等领域.随着电子工业和计算机的发展,显示器防眩防静电膜和电脑视保屏成为减反射薄膜新的应用领域,具有广阔的市场前景.该课题利用近年来发展的脉冲磁控高速溅射技术,进行了减反射膜系的设计和制备.该文首先介绍了减反射膜系的发展及现状,论述了用脉冲磁控溅射技术制备减反射膜系的优点,说明了该课题的研究目标与意义.其次介绍了采用C++语言设计的减反射膜系程序,该程序不仅能搜索满足减反射性能的膜系,还具有膜系的优化选取、实验性能模拟等功能.接着文章分别讨论了采用脉冲磁控溅射技术制备SiO<,2>膜和TiO<,2>膜的情况,并与其它薄膜制备方法进行了比较,得到了与国外文献报道较一致的结论.最后介绍了膜厚监控方法的选取和减反射膜系的制备情况,对膜系的减反射性能进行了分析和讨论,并在全文最后提出了改进建议.采用脉冲磁控溅射技术制备减反射膜系的实验结果表明:溅射过程比较稳定,所镀制的减反射膜系可在450~650nm可见光波内实现宽带减反,在500~600nm人眼最敏感波段内的透射率高于97%.
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