现如今,随着半导体行业的快速发展,对集成电路制造技术的要求也越来越高,统一的目标就是在保证生产质量的基础上,让生产效率达到最高,以此来保证产能的最大化。集成电路生产制造作为高科技行业中的劳动密集型产业,包括几十种生产流程,每道流程之间都需要进行物料流转,在这种情况下,物料流转的精确性和稳定性就极为重要。自动物料搬运系统(AMHS,Automated Material Handling System)应运而生,取代了人力搬运,在半导体生产中扮演着重要的角色,是半导体制造实现自动化的重要一环。在半导体制造的后道工厂中,AMHS的应用并不普遍,且对AMHS的研究和效率改善也只是停留在静态方法上,但是在工厂实际问题中,由于各种因素是动态的,情况更为复杂。本文结合某家封装测试工厂的实际情况,基于仿真模型理论,对工厂的AGV系统和OHT系统进行了建模,并主要对系统中的运输模块进行了研究,提高了实际工程问题中AMHS的搬运效率。本文从AMHS的仿真模型框架出发,研究了各部分的组成和特点,并结合仿真建模步骤和理论,对AMHS的仿真建模在软件中的实现进行了研究,提出了符合实际工程情况的评价模型的指标。根据工厂的实际情况,建立了一个能反映真实AGV系统的仿真模型,可以完成封装测试产线中多个站点之间的物料搬运。该模型能够实现10辆AGV共同工作,运行路径共有8条,能完成三种不同的搬运任务。且此模型的仿真结果与实际生产数据的对比结果表明该仿真模型能很好的反映真实的AGV系统。并基于该模型的建模方法对工厂拟引进的OHT系统进行了规划设计,建立了一个包括4辆OHT运输小车和一个LBS的intra-bay系统的仿真模型,该系统可以实现一个仓储和18台测试机器之间的物料传送。对OHT系统的模型进行了仿真,结果表明在现有的生产情况下,该系统能很好的替代当前产线的人力搬运。根据这两种模型的特点,分别采取了不同的优化方案对系统的搬运能力进行了优化。对AGV系统的优化分为两个方面,首先是基于时间窗算法对AGV系统中小车的冲突问题的解决方案进行了优化,然后基于遗传算法对AGV的数量进行了合理的配置,使系统中AGV的利用率达到了更理想的状态。针对AGV系统的两种优化方案在仿真模型中证实有效,应用到实际系统中,AGV系统的拥堵问题得到了极大的改善,平均单趟运送时间由19.99分钟减少为17.36分钟,单周运送量较优化之前提高了27%。最后,在工厂实际情况的考量下,对OHT系统的轨道布局进行了优化,优化后OHT系统在满足生产要求的前提下,可以将平均送货时间由45秒减小到38秒,减少了14.5%,而取货时间则从41秒减小到35秒,减少了13.4%,优化过后的OHT系统在代替人力搬运的基础上能进一步提高生产设备的利用率,从而提高生产效率。