单晶硅吸收型光纤温度传感器的探索

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利用半导体光吸收原理,提出了一种新颖的半导体吸收型光纤温度传感器。该传感器采用单晶硅半导体材料为温度敏感材料。它具有测温范围广;单晶硅敏感材料制备、加工工艺成熟等优点,因此有较广泛的发展前景。目前在国内尚未见报道。论文在理论分析单晶硅透射特性的基础上,提出了以微细加工各向异性腐蚀深槽的工艺方法,获得10um~20um的单晶硅感温薄膜,并采用透射式传感结构。这种用微机械加工技术来制备感温元件的方法至今尚属首次。实验结果表明,在10℃~100℃的温度范围内,传感器的线性度可达到1. 5%左右,同时可得到1mV/oC左右的灵敏度。
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