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光刻技术与半导体集成电路地位的日益突出，而仿真对光刻机新型样机的研发与集成电路的生产意义重大，高质量的仿真技术可以缩短开发周期降低研究成本提高光刻机性能进而增强集成电路的生产质量为了克服传统半物理仿真平台可视化的局限性，本文以国家科技专项ǎ光刻机样机研发为背景，开发了高真实感双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台首先，针对双工件台光刻机虚拟现实仿真平台所需实体建模问题，重点分析了基于图像空间基于离散矢量与直接实体造型算法，使用结合B-rep与CSG的HybridModeling直接实体混合造型算法对光刻机掩模台系统双工件台系统的运动参考部件三维实体进行创建，在此基础上，通过实验研究了系统零件的简化建模方法，对比分析了其模型建立效果，采用布尔运算法，实现了零件实体建模讨论了系统零部件的装配方案，在Pro/ENGINEERING Wildlife中完成了掩模台双工件台系统的零件与运动参考部件相对空间位置的装配其次，详细分析了虚拟现实场景仿真过程中光刻机掩模台双工件台系统宏动微动运动状态与其各个执行机构之间的耦合关系，基于现实的运动关系并结合三维模型结构对空间中运动的掩模台工件台微动台各个自由度与各个执行电机之间运动关系进行了探讨研究了光刻机虚拟现实三维仿真平台场景的设计方案，在OpenInventor系统中实现了三维场景的创建，零件与定位部件实体逻辑位置的装配，并利用光刻机系统运动关系的分析结果，完成了运动控制与交互接口以及仿真平台本地数据文件读取与存储功能设计，分析了在线实时仿真通信模块的开发方案最后，综合使用光刻机掩模台双工件台系统三维实体模型各零件宏动微动运动关系分析结果仿真平台及其在线离线连接设计方案，实现了双工件台光刻机虚拟现实三维仿真平台及其本地文件读写的开发，使用基于消息机制的异步套接字模式设计了仿真平台自身的客户端网络通信模块网络通信模块，并对该三维仿真平台做了部分优化