ZnO基透明导电薄膜的制备及应用研究

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【摘要】

：

透明导电氧化物薄膜同时具备了透明和导电的性能,其独特的性能使其在太阳能电池、液晶显示器、薄膜晶体管等领域具有广阔的应用前景。目前应用最广的透明导电薄膜是掺铟氧化锡(ITO)薄膜,但是In的价格昂贵并且有毒,这一定程度上限制了其进一步的应用。相对而言,掺杂氧化锌薄膜原料丰富、价格低廉、无毒、在氢等离子中稳定性好,这些优势使其有望大幅度替代ITO而广泛应用于光电领域。本文采用射频磁控溅射技术制备了掺铝

【作者】

：

黄继杰

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2012年02期

【关键词】

：

透明导电薄膜太阳能电池 AZO薄膜磁控溅射低温制备稳定性柔性衬底

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