AlGaInP四元LED发光强度的研究

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四元系AlGaInP半导体材料具有直接宽带隙,且此材料的发光波段可覆盖从红光到黄绿光的可见波段,所以由AlGaInP半导体材料制成的高亮度发光二极管受到广泛关注,已应用于多种光电器件的制备。为了满足不断变化的需求,进一步提高LED的发光强度,我们需要对AlGaInP材料进行系统的深入探索,从而设计出性能更好的外延生长工艺和材料组织结构。因此,本文重点研究了LED亮度的影响因素:DBR对光的反射、MQW内量子效率以及出光层GaP这三个方面。主要研究成果如下:1.利用MOCVD的方法,设计了反射波长分别为570nm和625nm的DBR结构,生长不同发光波长的AlGaInP四元LED外延片样品,并通过芯片工艺制成芯片,使用XRD、PL和芯片光电测试仪等表征了外延片和芯片的性能。研究了红光和黄绿光AlGaInP四元外延片的发光强度与DBR结构的关系。结果表明:红光AlGaInPLED芯片的发光强度高于黄绿光,其主要原因是黄绿光有源区的内量子效率低和DBR结构减小反射率,从而导致较低的发光强度。2.利用MOCVD的方法,从垒厚度的变化、垒中Al组分的变化和不同Ⅴ/Ⅲ比三个方面研究了MQW结构对内量子效率的影响。第一,设计了厚度分别为5nm、6nm、7nm和8nm垒层,对生长后的外延片进行XRD和PL检测,结果表明,垒厚为8nm时,MQW的内量子效率最高。第二,设计了Al组分分别为0.55、0.60和0.65的垒层结构,对生长后的外延片进行XRD和PL检测,结果表明,当Al组分为0.65时,MQW的内量子效率最高。第三,设计了不同Ⅴ/Ⅲ比的MQW结构,对生长后的外延片进行XRD和PL检测,结果表明,当Ⅴ/Ⅲ比为80时,MQW的内量子效率最高。3.利用MOCVD的方法,从Mg掺杂流量、Mg掺杂温度、Mg掺杂的Ⅴ/Ⅲ比和升温层厚度四个方面研究了GaP结构。第一,设计Mg掺杂流量分别为16cc、24cc和48cc,对生长后的外延片进行XRD和ECV检测,结果表明,Mg掺杂流量为24cc时,GaP结构生长最好。第二,设计Mg掺杂温度分别为700℃、710℃、725℃,对生长后的外延片进行XRD和ECV检测,结果表明,Mg掺杂温度为710℃时,GaP结构生长最好。第三,设计Mg掺杂的Ⅴ/Ⅲ比分别为3和10,对生长后的外延片进行XRD和ECV检测,结果表明,Mg掺杂Ⅴ/Ⅲ比10时,GaP结构生长最好。第四,设计升温层的厚度分别为120nm和80nm,对生长后的外延片进行XRD和ECV检测,结果表明,升温层厚度为120nm时,GaP结构生长最好。
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