【摘 要】
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Ⅲ-Ⅴ族A1N半导体薄膜以其优异的物理和化学性能在光电子和微电子器件领域具有良好的应用前景。在Al203衬底上外延生长AlN薄膜时,AlN与Al203之间较大的晶格失配和AlN薄膜的不同表面极性严重影响着其结晶和表面质量。本论文采用激光分子束外延法在Al2O3(0001)衬底上沉积AlN薄膜,并通过在高真空条件下预沉积AlN缓冲层以提高薄膜的质量。论文详细分析了工艺参数和预沉积时间对薄膜质量的影响
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Ⅲ-Ⅴ族A1N半导体薄膜以其优异的物理和化学性能在光电子和微电子器件领域具有良好的应用前景。在Al203衬底上外延生长AlN薄膜时,AlN与Al203之间较大的晶格失配和AlN薄膜的不同表面极性严重影响着其结晶和表面质量。本论文采用激光分子束外延法在Al2O3(0001)衬底上沉积AlN薄膜,并通过在高真空条件下预沉积AlN缓冲层以提高薄膜的质量。论文详细分析了工艺参数和预沉积时间对薄膜质量的影响,并讨论了晶体结构和外界环境温度对薄膜光学性能的影响,主要研究结果如下：1.在高真空气氛下预沉积
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粉磨设备是应用于工、农业部门和高新技术产业中不可缺少的加工设备,利用粉磨设备可以将大至几米的物料经过一段或多段粉碎加工,将物料加工到几毫米至几微米,甚至到亚微米级。但随着工农业的发展,粉磨物料的电耗不断增加,用于粉碎粉磨的电耗已达世界总电耗的10%-12%,而在这些行业的初期设备投资中,用于购买粉磨成套设备的费用已达50%-70%。因此对粉磨行业的设备工艺更新,降低粉磨的成本已变得非常重要。以往国
近年来，“节材减碳”、“以纸代塑”、“以纸代木”已成为全球包装产业的发展方向。纸包装制品是一种源于自然又回归自然的产品，天然材料制成的纸包装制品符合绿色包装的理念，作为一种绿色环保型材料而在家电包装中得到广泛应用。然而，一方面，目前大多数纸质包装制品采用手工或半自动方式生产，生产效率低，且不能保证产品的质量；另一方面，当今家电产品的市场需求量巨大，其所需包装也随之剧增，包装产品的规模化、批量化、机
热风微波耦合干燥是一种新型的干燥方法和技术，物料内部的热、质传递是干燥理论研究中的基本问题，热风微波耦合过程中，在线检测物料内部的水分含量和温度变化还比较困难，因此热、质传递数学模型的研究对干燥过程参数的优化和控制具有重要的理论和实际指导意义。基于新型的热风微波实验设备和干燥样品形状，依据能量和质量平衡方程，建立热风微波耦合干燥条件下柱状和球状样品的传热传质模型，利用隐式有限差分法对模型求解并得到
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