InAs/GaInSb超晶格的外延生长模拟及微结构设计研究

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本文采用动力学蒙特卡罗方法(KMC)在SOS(Solid-on-Solid)模型基础上模拟了InAs/Ga1-xInxSb超晶格的分子束外延(MBE)生长,利用包络函数方法计算了InAs/Ga1-xInxSb的能带结构,在模拟和计算的基础上设计了特定截止波长的InAs/Ga1-xInxSb超晶格结构。模拟研究发现,生长温度为663K时,在GaSb缓冲层上生长InAs层与GaInSb层时粗糙度曲线出现周期性振荡,与典型的RHEED图像相符,表明在该生长温度下生长的InAs/Ga1-xInxSb能得到较好的薄膜质量。同时发现InSb型界面比GaAs型界面更加适合InAs/Ga1-xInxSb超晶格的生长。另外,在生长Ga1-xInxSb材料时,In含量越高,薄膜表面越粗糙。对InAs/Ga1-xInxSb超晶格的能带结构计算表明,InAs/Ga1-xInxSb的能带结构受到周期厚度和In含量的影响。InAs层和GaInSb层厚度都会影响超晶格的子带结构,InAs层变厚,HH1增加而C1下降,使得Eg减小;GaInSb层厚度变厚,C1和HH1均增加,Eg变化很小。In含量的变化由于同时改变了应变和GaInSb的能带参数,对InAs/Ga1-xInxSb能带结构产生了巨大的影响,随着In含量的增加,C1下降,HH1增加,使得Eg迅速减小。在外延生长模拟和超晶格能带计算的基础上,选用InAs/Ga0.9In0.1Sb(3nm/2.7nm)结构设计p-i-n型光伏器件,其主要结构为:p+层为40个周期的InAs/GaInSb超晶格(GalnSb:Be 1×1017cm-3);i层为20个周期的非故意掺杂InAs/GaInSb超晶格;n+层为40个周期的InAs/GaInSb超晶格(InAs:Si 5×1017cm-3)。计算该光伏器件在77K时的暗电流发现,其扩散电流较小,暗电流主要由复合电流和带间隧穿电流组成。当反向偏压小于16.5mV时,暗电流主要是复合电流;反向偏压超过16.5mV以后带间隧穿电流超过复合电流成为暗电流的主要组成部分。为InAs/GaInSb超晶格的器件设计奠定了基础。
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