微流控芯片作为一种新的分析技术平台,因为其独特的优势,已经在生物化学、临床检验、环境检测等多个领域得到了广泛的应用和研究,已然成为当前分析科学技术发展最活跃的领域之一。其中微流控芯片的加工技术是微流控技术应用与研究的重要基础和首要条件,因此,研究和探索高效简便的微流控芯片制作工艺具有重要的研究意义和实用价值。本论文的研究工作主要是围绕原型微流控芯片快速低成本制作工艺方法展开的,着重研究了微流控芯片不同材料基片的加工技术与密封技术,并根据不同材料的性能以及不同功能的要求进行了相关制作工艺技术的探讨。本论文的主要内容包含以下几个方面:(1)提出了一种利用PET透明胶片和压敏双面胶结合激光切割技术制作三维微流控芯片的简便工艺,确定了三维微流控芯片制作的具体工艺条件和关键技术方案并实现了几种典型三维芯片的快速简便制作,该工艺方法大大降低了三维微流控芯片的制作成本、简化了制作流程,可促进三维微流控芯片的广泛应用。(2)提出了一种基于数控雕刻技术的玻璃微流控芯片制作工艺,详细研究了不同的工艺参数和条件对玻璃微流控芯片制作的影响,确立了较佳的工艺参数和加工条件,并成功实现了几种典型玻璃微流控芯片的快速简便制作,极大地降低了玻璃微流控芯片的制作成本和缩短了制作周期,对于实现玻璃微流控芯片的广泛应用具有重要的意义。(3)针对微流控芯片的快速、低成本制作需求,提出了一种基于自粘性贴膜的微流控芯片键合策略,根据不同应用需求,该策略可实现两种不同模式的键合,即高强度的可逆键合方法和高强度的不可逆键合方法。论文详细研究了贴膜键合工艺的键合条件,并对基于贴膜键合工艺制作的微流控芯片的键合强度进行了理论分析和实验验证,给出了贴膜键合工艺的优化条件,贴膜键合工艺有利于微流控芯片批量化制备与生产,从而促进微流控技术广泛应用。本论文对面向原型微流控芯片的快速低成本制作工艺进行了较为深入的研究和探索,建立了基于激光雕刻技术的三维微流控芯片制作工艺、基于数控雕刻技术的玻璃微流控芯片制作工艺和基于自粘性贴膜的微流控芯片键合工艺,为原型微流控芯片快速、高效、低成本制作提供了有效的解决方案,也为微流控技术在普通实验室的广泛应用奠定了技术基础。