【摘 要】
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论文曾初步建立了场发射高分辨电子显微像的解卷处理技术,并应用于SiGe中60°位错的测定.该文在其基础上,提出了电子衍射动力学效应的校正方法,从而发展了解卷结合电子衍射动
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论文曾初步建立了场发射高分辨电子显微像的解卷处理技术,并应用于SiGe中60°位错的测定.该文在其基础上,提出了电子衍射动力学效应的校正方法,从而发展了解卷结合电子衍射动力学效应校正的图像处理方法.运用该方法,能够从单张场发射高分辨电子显微像出发,得到更清晰的解卷像,在原子尺度上确定位核心的结构.该文论证了该图像处理方法的有效性;讨论了该图像处理方法适用的离焦量和晶体厚度条件;将该图像处理方法应用于Si晶体中的Glide和Shuffle型60°位错的模拟高分辨像,结果表明在经过处理的像上,能够清楚地区分这两种相似的位错结构;用该图像处理方法在原子尺度上确定了实验高分辨像中一个Lomer位错和一个复合位错的核心结构.对模拟像和实验像的处理表明,该图像处理方法适用于半导体材料中位错结构的辨认和位错核心原子分布的测定.最后,该文还编写了用于解卷和电子衍射动力学效应校正的Windows应用程序.
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