【摘 要】
：
该论文首先介绍了等离子体的基本概念和特征,评述了阴极弧等离子体技术的源流、物理过程和发展现状,并对宏观粒子过滤器作了较为细致的评价.指出宏观粒子的预防和移除是阴极
论文部分内容阅读
该论文首先介绍了等离子体的基本概念和特征,评述了阴极弧等离子体技术的源流、物理过程和发展现状,并对宏观粒子过滤器作了较为细致的评价.指出宏观粒子的预防和移除是阴极弧等离子体技术的核心议题.结合过滤器扼要介绍了这项技术在工业上的应用.在长期的研究工作中,我们根据实际情况,经过精心设计和对现存设备的改造,研制出两套弯曲型磁过滤阴极弧等离子体镀膜装置,通过摸索逐步解决了装置装配与调试中遇到的诸多问题.我们利用研发的设备在室温下沉积出了纳米结构的TiN高质量硬质薄膜.用X射线衍射、傅立叶变换红外光谱、动摩擦系数精密测定仪、纳米压痕仪和扫描电镜等材料现代分析技术对制备的TiN薄膜进行了结构和性能表征.分析结果表明,基底偏压的大小对薄膜的结构和性能都有很大影响.TiN块体材料的择优生长晶面本来是(200)面,对基底施以适当偏压之后,(111)面就成为择优生长晶面,但在更高的偏压下,择优取向又变化(220)面.相比来说在较低偏压条件下,薄膜的光滑度、硬度、弹性模量和光学性能都要更好一些.
其他文献
在所有的复杂系统中,人的大脑是宇宙中已知的最复杂的、多相的,而且高度有序的奇妙的系统.若干个世纪以来,许多思想家和科学家一直在试图理解人的精神或人脑是如何工作的.该
该文对任意面形、任意入射条件、任意光轴取向的一维各向异性周期光栅的衍射作了严格模式理论分析,并采用傅立叶因式分解和反射透射系数阵递推算法以提高数值计算的稳定性和
水下目标探测一直是水声界的一个重要研究课题.长期以来,人们研究出了各种各样的探测技术,声纳岸站便是其中一种.该文根据中国几个重要港口附近的水文环境数据,模拟计算出当
该文介绍了北京谱议主漂移室Ⅲ（MDCⅢ）的结构设计、建造过程、丝的张力测量及其数据处理、丝的高压漏电流测量、宇宙线信号测试等.从机械性能指标来看,MDCⅢ达到了设计目标.从
该报告的主要工作就是围绕语音识别的一些基本技术展开的,主要包括以下几个方面:最小分类误差训练:我们采用基于最小分类误差准则的模型训练方法,直接将模型的性能(识别率)与
该文从两个方面研究了Casimir效应,得出了新结果.1,利用泛函积分量子化方法、讨论了两个平行的、理想的金属线之间,Maxwell-Chern-Simons(M-C-S)规范场的Casimir效应.2.从辐
该论文在P型GaN,InGaN/GaN多量子阱研究及计算,InGaN/GaN多量子阱LED;白光LED方面开展了一系列研究工作.1.针对P型氧化物材料获得的困难,研究了Mg掺杂GaN的激活机制.优化并提
该文根据我们的实际条件,从材料制备着手,自己动手制作了一系列分散度的SiO和TiO小球,研究了胶体光子晶体的带隙性质和无规介质的光学增强效应,主要研究内容和结果如下: 1、
从培养学生的思维和表达能力来看,小组合作无疑是一种良好的课堂策略,合作学习的形式应该是不拘一格,充满生命力而且深受学生喜爱的,更重要的是,这种形式要根据学科特点及每
纳米材料由于其特殊的结构和奇特而丰富的物理性质已成为基础研究和应用开发最前沿、最热门的课题之一.它们有望在信息产业、航空航天、环保、能源、生物医药等领域发挥重要