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目前螺杆真空泵已经被广泛应用于半导体、医药、食品、化工等各个工业领域,其在真空泵市场中占有的地位不断提升。螺杆转子作为螺杆真空泵的主要部件,它的齿型大多采用的是市场上比较常见的梯形齿,该齿型具有较好的啮合性、连续密封性和稳定性。随着螺杆泵连续不断的工作,其吸气口处的压力会不断降低并逐渐趋于一定值而排气口处的压力始终是大气压,这样就造成了气体从排气口高压侧向吸气口低压侧的反向泄漏,又由于螺杆真空泵是无油容积式真空泵,所以,级间泄漏是不可避免的。泄漏量的增加会降低泵的有效抽速,这也直接决定了泵的极限真空