【摘 要】
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该文研究了同步辐射聚焦镜的压弯理论和子午聚焦镜与弧矢聚焦镜的压制方法;用自制的压弯机构压弯产生了圆柱面和椭圆柱面变形,修正了摩擦力的影响之后,测量结果和理论计算可
【出 处】
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中国科学院上海原子核研究所 中国科学院上海应用物理研究所
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该文研究了同步辐射聚焦镜的压弯理论和子午聚焦镜与弧矢聚焦镜的压制方法;用自制的压弯机构压弯产生了圆柱面和椭圆柱面变形,修正了摩擦力的影响之后,测量结果和理论计算可以很好地符合.对于子午聚焦镜,该文着重研究了圆柱面、椭圆柱面和抛物柱面的压制方法.研究了圆柱面的四点压弯和三点压弯机制,用ANSYS程序进行了计算和分析,计算结果和理论曲线相互符合.研究了改变镜的宽度或厚度压制椭圆柱面的方法,对变宽方法进行了详细的讨论;对用梯形镜压制椭圆柱面给出了自己的方法,ANSYS计算结果表明用梯形镜可压制面形误差小于0.5μm的椭圆柱面,镜两端有较小的面形误差.对于弧矢聚焦镜,该文主要研究了圆柱面的压制方法.研究了单晶硅的力学常数随晶向的变化,给出了硅的力学常数在任一晶面内的变化公式,并对几种常用晶面进行了计算.给出了背部加肋矩形板和背部加肋三角形板的弯曲公式,对加肋矩形板的ANSYS计算分析表明,背部加肋可以有效减小抗裂弯曲的影响.
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